10 奈米空氣粒子計數器: NanoAir™
Sensitivity: 10 nm, Flowrate: 2.8 LPM (0.1 CFM)
為最關鍵的晶圓廠房而設計的奈米粒子計數器。
NanoAir™ 10 奈米粒子空氣計數器（CPC）是美國粒子監測系统公司（PMS），推出的一款革命性新產品。同時具備奈米粒子計數器（CPC）的靈敏度以及傳統潔淨室粒子計數器的簡易操作和功能性。 專為監測超潔淨環境而設計， 在2.8升/每分鐘（0.1立方英尺/每分鐘）的採樣流速下，可達到10奈米檢測靈敏度。
NanoAir™ 10 尺寸比同類產品小83%，因此便於在超潔淨環境下的任何地點使用，甚至可在半導體製程機台和設備前端模組（EFEM）内部使用。工作液處理系統採用正在申請專利的創新設計，非常穩健、高效，可達成全年、全天候連續運行，無需維護或任何形式的額外操作，因此減少了採樣和數據收集時的中斷及製程機台停機時間。
搭配提供(ParticleSeeker™)多點採樣器™產品，其搭載10個接口，支援按顺序或編程顺序監測多個採樣位置的應用需求。
此外，NanoAir™ 10 在選配PMS的 HPD-III 高壓擴散器後, 與高壓氣體兼容，數據可通過PMS™ Facility Net 設備監測軟體予以查看、分析和寄送，或直接傳輸到第三方的監控和數據採集（SCADA）系统或作為製程機台參數。
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