ParticleSeeker™是NanoAir™氣體奈米粒子計數器所搭配的一款氣體選樣器，其搭載10個端口。
ParticleSeeker™專為最關鍵的晶圓廠空間而設計，可用於需要按順序或編程順序監測多個採樣位置的應用場景。其獨特之處在於，可實現在製程機台設備前端模組（EFEM）微型環境内部進行監測。ParticleSeeker™和NanoAir搭配使用，並啟用全部10個分流端口時，可監測最大120平方米的晶圓廠/製程空間。
ParticleSeeker™是NanoAir™氣體奈米粒子計數器所搭配的一款氣體選樣器，其搭載10個端口。
ParticleSeeker™專為最關鍵的晶圓廠空間而設計，可用於需要按順序或編程順序監測多個採樣位置的應用場景。其獨特之處在於，可實現在製程機台設備前端模組（EFEM）微型環境内部進行監測。ParticleSeeker™和NanoAir搭配使用，並啟用全部10個分流端口時，可監測最大120平方米的晶圓廠/製程空間。