化學批次取樣可協助偵測半導體製造過程中，化學品分配與使用階段的粒子汙染情況。隨著製程節點不斷微縮，半導體化學品製造商面臨越來越嚴苛的粒子汙染限制。傳統 30 nm 靈敏度 的粒子汙染控制已無法滿足現代先進製程的需求。 為了應對這項挑戰，Particle Measuring Systems (PMS) 推出 Chem 20 化學粒子計數器, 能將 20 nm 等級的線上粒子監測 無縫整合至現有製程中。 作為全球首款可可靠檢測 20 nm 粒子的計數器，Chem 20 在訊號偵測技術上進行了重大突破，使靈敏度得以突破 30 nm 門檻。其卓越的靈敏度已被證實能偵測出傳統 30 nm 以上粒子計數器無法捕捉的事件，進而大幅提升液體系統的品質與製程可靠度。
製程化學品的批次取樣
對 半導體產業 而言.製程化學品的粒徑規範 是 品質管控 中的關鍵項目。先進微電子製造商需要極高純度的化學品，必須嚴格監控汙染並經過濾處理，以確保 粒子尺寸達 20 nm 或更小.。
Particle Measuring Systems (PMS) 推出 Chem 20™ 作為 全球最靈敏的化學粒子感測器, 首度將線上粒子監測靈敏度推進至 20 nm 等級。 搭配 SLS-20 注射式取樣器, Chem 20 可靈活應用於離線批次取樣，適用於化學製程研發、量產、分配與包裝等多種場景。
閱讀本文可了解:
- 全球領先的 20 nm 製程 化學品批次取樣技術
- 該系統如何在降低廢棄物與提升安全性 面取得進展
- PMS 與多家客戶針對各類化學品所進行的 應用案例與深入研究結果
